在水中，將距離1cm的兩片表面積為1cm2大小的電極加以通電，來監(jiān)測兩極間的導(dǎo)電率，通過所加電壓和測得的電流能夠獲知兩極間的電阻值，這個數(shù)值在水質(zhì)分析中通常被稱為電阻率或比電阻，其單位用MΩ.cm(mega ohm-centimeter)來表示。電阻率的倒數(shù)稱為導(dǎo)電率或電導(dǎo)率，用μs/cm(micro Siemens per centimeter)來表示。這兩個參數(shù)是表示水的純度的zui常用參數(shù)。

將自來水中的離子去除，會使得電阻率值升高(導(dǎo)電率降低)，單并非無限制的增加，這是因為部分水分子會電離為氫離子和氫氧根離子，其電阻率值極限值18.248MΩ.cm(25°C)。此外，電阻率值會隨著水的電離常數(shù)而改變，因而會受到水溫的影響。例如，25°C的超純水，其電阻值為18.2MΩ.cm,但在0°C則為84.2MΩ.cm, 100 °C則為1.3MΩ.cm。在25 °C附近，當(dāng)溫度上升1 °C，其電阻值將下降0.84MΩ.cm。因此，多使用補償至25°C的電阻率值來做衡量標(biāo)準(zhǔn)。

此外像總有機(jī)炭含量(TOC)，熱源內(nèi)毒素含量，細(xì)菌含量，顆粒含量，微生物含量，總?cè)芙夤腆w含量(TDS)等也常常被用作補充說明水質(zhì)的重要參數(shù)。因此，水的純度標(biāo)準(zhǔn)通常由以上這些參數(shù)的一項或幾項來綜合說明、分級。